低压放电法检漏仪的原理及应用领域

更新时间：2025-05-19

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　　低压放电法检漏仪是一种基于气体放电特性检测泄漏的设备，其核心原理是通过监测低气压环境下气体放电现象的变化来判断被测系统的密封性。具体原理可分为以下步骤：

　　‌1、气体电离与放电‌：在密闭腔体中施加高压电场，当气压降低到一定范围时，残余气体分子被电离产生辉光放电或电晕放电，形成可测量的电流或光信号。

　　‌2、泄漏气体干扰‌：若被测系统存在泄漏，外部气体会渗入腔体，改变内部气体的成分或压力，导致放电特性(如击穿电压、放电电流强度或光谱特征)发生显著变化。

　　‌3、信号分析与定位‌：通过传感器捕获放电参数的异常变化(如电压波动、电流突增或特定波长光强变化)，结合电路或算法处理，确定泄漏位置及程度。

　　‌低压放电法检漏仪主要应用于以下领域‌：

　　‌1、真空设备检测‌：用于半导体制造、真空镀膜等行业的腔体、管道密封性检测，确保高真空环境稳定性。

　　‌2、制冷系统检漏‌：检测空调、冰箱等制冷剂循环系统中的微小泄漏，避免冷媒流失导致效率下降。

　　‌3、封闭容器质检‌：在医疗、化工领域检查气罐、密封容器是否存在缺陷，保障存储安全性。

　　‌4、科研实验监测‌：应用于高能物理、航天模拟等精密实验装置，防止环境气体干扰实验结果。

　　该方法优点在于灵敏度高(可检测至10⁻⁵ Pa·m³/s量级)、响应速度快，但对气体种类选择性较差，且需在低气压环境下操作，适用场景受一定限制。